Omron vient de présenter au salon Ceatec de Tokyo un capteur de flux baptisé D6F-P et basé sur un microsystème de mesure de flux parmi les plus petits du marché et grâce auquel l'encombrement total du capteur est inférieur de moitié à celui de ses prédécesseurs chez Omron (tels que le D6F-01A1). Mesurant 1,55x1,55x0,4mm, ce Mems comprend deux thermopiles réparties autour d'une source de chaleur et surplombant une cavité enrobée par deux membranes d'isolation percées de trous. En l'absence de flux d'air, la distribution de température au sein du Mems demeure symétrique de part et d'autre de la source de chaleur. A contrario, un flux d'air instaure un déséquilibre de température mesurable au niveau des thermopiles. Les dimensions réduites de la cavité, rendues possible par le micro-usinage, limitent la consommation du composant liée à la source de chaleur.

L'autre innovation du D6F-P réside dans la structure des canalisations entourant le capteur lui-même. Celles-ci sont en effet conçues de manière à générer une séparation centrifuge des particules de poussière, recréant une sorte de tourbillon au sein du système.