Le recouvrement devient de plus en plus critique

Le 05/01/2018 à 0:00 par Didier Girault
La course vers les nœuds technologiques avancés induit une demande pour des mesures plus précises de l’alignement des différentes strates d’une même puce. Or, les sources d’imprécision sont de plus en plus nombreuses au fur et à mesure de l’utilisation de technologies plus fines. = ASML propose un système de qualification du recouvrement qui procède…
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