Micro Electromechanical System. Système micro-usiné, puce électronique faisant appel aux mêmes technologies que celles utilisées pour la fabrication des circuits intégrés, en particulier la gravure, mais ayant des fonctions de capteur ou d’actuateur grâce à des éléments mobiles intégrés. Une poutre de silicium en suspension à l’un de ses bouts pourra par exemple fléchir sous l’effet d’une accélération, ce qui aura pour effet d’augmenter sa capacité avec le substrat.